您現(xiàn)在的位置：中國(guó)傳動(dòng)網(wǎng) > 技術(shù)頻道 > 應(yīng)用方案 > 【應(yīng)用案例】半導(dǎo)體行業(yè)EtherCAT總線驅(qū)控一體轉(zhuǎn)臺(tái)應(yīng)用

【應(yīng)用案例】半導(dǎo)體行業(yè)EtherCAT總線驅(qū)控一體轉(zhuǎn)臺(tái)應(yīng)用

時(shí)間：2023-08-22 09:38:29來源：廣東凱福電子科技有限公司

導(dǎo)語(yǔ)：?作為半導(dǎo)體制造工藝中的重要一環(huán)，單晶硅硅片制造工藝尤為重要。多晶硅片經(jīng)過切片、倒角、研磨、表面處理、拋光、外延等不同工序加工后，表面已經(jīng)受到嚴(yán)重的玷污，因此有一個(gè)很重要的工藝段便是清洗，其目的就是為了去除硅片表面顆粒、金屬離子以及有機(jī)物等污染。

驅(qū)動(dòng)器

　　作為半導(dǎo)體制造工藝中的重要一環(huán)，單晶硅硅片制造工藝尤為重要。多晶硅片經(jīng)過切片、倒角、研磨、表面處理、拋光、外延等不同工序加工后，表面已經(jīng)受到嚴(yán)重的玷污，因此有一個(gè)很重要的工藝段便是清洗，其目的就是為了去除硅片表面顆粒、金屬離子以及有機(jī)物等污染。

　　凱?？萍坚槍?duì)單晶硅片制造清洗工藝提出了SSDC集成式EtherCAT總線驅(qū)動(dòng)器+YKW系列一體式轉(zhuǎn)臺(tái)的方案。具有尺寸更小，速度波動(dòng)平穩(wěn)等特點(diǎn)。

工藝流程圖

驅(qū)動(dòng)器

案例展示

驅(qū)動(dòng)器

方案優(yōu)勢(shì)

驅(qū)控一體尺寸更小

驅(qū)動(dòng)器

速度更穩(wěn)

驅(qū)動(dòng)器

-【End】-

廣東凱福電子科技有限公司

電話：0769-23033384

傳真：0769-22493047

官網(wǎng): www.kaifull.net

地址：東莞市高埗鎮(zhèn)高龍東路5號(hào) 凱?？萍紙@

標(biāo)簽：驅(qū)動(dòng)器伺服系統(tǒng)伺服電機(jī)

分享到：

上一篇：電阻式壓力傳感器應(yīng)用有哪些

下一篇：PCIE超高速實(shí)時(shí)運(yùn)動(dòng)控制卡在...

傳動(dòng)網(wǎng)版權(quán)與免責(zé)聲明：凡本網(wǎng)注明[來源：傳動(dòng)網(wǎng)]的所有文字、圖片、音視和視頻文件，版權(quán)均為傳動(dòng)網(wǎng)(m.wangxinlc.cn)獨(dú)家所有。如需轉(zhuǎn)載請(qǐng)與0755-82949061聯(lián)系。任何媒體、網(wǎng)站或個(gè)人轉(zhuǎn)載使用時(shí)須注明來源“傳動(dòng)網(wǎng)”，違反者本網(wǎng)將追究其法律責(zé)任。

本網(wǎng)轉(zhuǎn)載并注明其他來源的稿件，均來自互聯(lián)網(wǎng)或業(yè)內(nèi)投稿人士，版權(quán)屬于原版權(quán)人。轉(zhuǎn)載請(qǐng)保留稿件來源及作者，禁止擅自篡改，違者自負(fù)版權(quán)法律責(zé)任。

相關(guān)資訊

技術(shù)熱點(diǎn)