量檢測(cè)設(shè)備與先進(jìn)封裝設(shè)備是半導(dǎo)體工藝中重要的組成部分。

在量測(cè)領(lǐng)域，按測(cè)量方式可分為光學(xué)量測(cè)與電子束量測(cè)；按使用場(chǎng)景則包括關(guān)鍵尺寸量測(cè)、套刻尺寸量測(cè)以及膜厚量測(cè)。缺陷檢測(cè)按檢測(cè)方式可分為光學(xué)缺陷檢測(cè)、電子束缺陷檢測(cè)、X射線檢測(cè)與紅外光譜儀檢測(cè)；按使用場(chǎng)景又可分為有圖形缺陷檢測(cè)（暗場(chǎng)）與無(wú)圖形缺陷檢測(cè)（明場(chǎng)和暗場(chǎng)）。

先進(jìn)封裝技術(shù)自倒裝鍵合開(kāi)始發(fā)展，逐步演進(jìn)至晶圓級(jí)封裝，并進(jìn)一步向更先進(jìn)的2.5D、3D封裝邁進(jìn)。

縱觀各類半導(dǎo)體設(shè)備，幾乎無(wú)一例外都依賴于運(yùn)動(dòng)平臺(tái)。運(yùn)動(dòng)平臺(tái)由機(jī)械硬件與運(yùn)控系統(tǒng)組成，其中運(yùn)控系統(tǒng)一般包括上位機(jī)、控制器、驅(qū)動(dòng)器、編碼器及電機(jī)。其共同目標(biāo)之一是確保光學(xué)拍攝或晶圓對(duì)準(zhǔn)時(shí)的定位精度，并實(shí)現(xiàn)極低的靜止抖動(dòng)。

隨著半導(dǎo)體制程不斷向更精微尺度推進(jìn)，對(duì)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的精度要求也日益提高。例如3D封裝中采用的混合鍵合技術(shù)，其晶圓對(duì)晶圓（W2W）對(duì)準(zhǔn)精度要求已達(dá)納米級(jí)別。作為防止不良晶圓流入下道工序的“守門(mén)員”，量檢測(cè)設(shè)備對(duì)精度的要求僅次于光刻機(jī)，其靜態(tài)抖動(dòng)控制往往需達(dá)到納米乃至亞納米水平。

目前市面上高性能運(yùn)動(dòng)平臺(tái)供應(yīng)商如ETEL、施耐博格、AEROTECH、華卓精科、隱冠等，其機(jī)械性能已接近業(yè)內(nèi)最高水準(zhǔn)，但在驅(qū)控系統(tǒng)方面則各具特色。例如ETEL常采用線性放大器和位置控制器，AEROTECH則擁有自主的驅(qū)動(dòng)器與控制器。不具備自研驅(qū)控系統(tǒng)的平臺(tái)商通常會(huì)外采其他品牌產(chǎn)品（如ACS、Elmo的驅(qū)動(dòng)器，或PMAC、倍福的控制器等）。

這些高性能驅(qū)控系統(tǒng)通常搭載性能出色的驅(qū)動(dòng)器。驅(qū)動(dòng)器通過(guò)電流直接控制電機(jī)運(yùn)動(dòng)，為保障平臺(tái)的響應(yīng)速度與精度，需要具備較高的采樣頻率。當(dāng)前市場(chǎng)上的驅(qū)動(dòng)器如Elmo、ACS、AEROTECH等，其電流環(huán)與位置環(huán)采樣頻率一般在20kHz至40kHz之間，雖可滿足大多數(shù)應(yīng)用需求，但在某些極高精度場(chǎng)景中仍顯不足。瑞士的驅(qū)動(dòng)器廠家Triamec，其電流環(huán)與位置環(huán)采樣頻率可達(dá)100kHz，并且在最新的奧地利EVgroup混合鍵合設(shè)備系列已經(jīng)批量使用，為追求極致精度的半導(dǎo)體設(shè)備提供了新的解決方案。由此可見(jiàn)，追求更高的采樣頻率可能成為未來(lái)驅(qū)動(dòng)器發(fā)展的趨勢(shì)之一。

然而，僅有高采樣頻率仍不足夠，還需具備高帶寬以接收編碼器的反饋信號(hào)，同時(shí)編碼器本身也需具備高反饋頻率。這涉及到對(duì)高分辨率模擬反饋信號(hào)（如Sin/Cos）的處理能力。通過(guò)對(duì)正弦/余弦信號(hào)進(jìn)行高倍數(shù)插補(bǔ)與數(shù)字化處理，可大幅提升位置測(cè)量的分辨率，從而推高精度上限。目前市場(chǎng)上多數(shù)驅(qū)動(dòng)器的實(shí)際細(xì)分倍數(shù)約為13至14位，而像AEROTECH、Triamec等廠商已能實(shí)現(xiàn)對(duì)Sin/Cos信號(hào)的高倍數(shù)精準(zhǔn)數(shù)字化插補(bǔ)，分辨率可達(dá)16位甚至更高，并借助信號(hào)處理技術(shù)有效抑制了電磁干擾對(duì)信號(hào)質(zhì)量的影響。這無(wú)疑代表了驅(qū)動(dòng)器技術(shù)未來(lái)發(fā)展的另一重要方向。

在半導(dǎo)體制造邁向更精微尺度的道路上，量檢測(cè)設(shè)備的運(yùn)動(dòng)精度已成為制約工藝良率的關(guān)鍵瓶頸之一。運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)的性能，尤其是驅(qū)動(dòng)器的采樣頻率與信號(hào)處理能力，直接決定著這臺(tái)“守門(mén)員”的反應(yīng)速度與判斷精度。Triamec、ACS、Elmo、AEROTECH等業(yè)界領(lǐng)先驅(qū)動(dòng)器不斷攀升的性能指標(biāo)，正是應(yīng)對(duì)這一挑戰(zhàn)的核心技術(shù)路徑。未來(lái)，為實(shí)現(xiàn)更高階的制程，自主開(kāi)發(fā)具備超高采樣頻率與極致穩(wěn)定性的運(yùn)動(dòng)控制部件，不僅是提升單機(jī)性能的關(guān)鍵，更是保障產(chǎn)業(yè)鏈精度自主可控的重要一環(huán)。