如何實現(xiàn)高精度多軸同步的 半導體設備運動控制

　　1 龍門平臺：實現(xiàn)微秒級多軸同步控制

　　半導體設備中廣泛使用的龍門結構，其核心挑戰(zhàn)在于實現(xiàn)雙軸乃至多軸之間的精準同步。傳統(tǒng)方案將同步算法置于上層控制器，受制于總線通信延遲，性能存在瓶頸。Elmo創(chuàng)新性地將龍門控制算法底層植入驅動器層面，實現(xiàn)了“執(zhí)行層同步”。

　　此舉徹底消除了通信延遲帶來的誤差，使得雙軸能夠在微秒級周期內實現(xiàn)完全同步。配合新一代Titanium系列多軸驅動器，系統(tǒng)甚至無需外部接線，在硬件內部即可完成閉環(huán)控制。

　　2 賦能高動態(tài)設備：突破動態(tài)性能上限

　　對于貼片機、點膠機、晶圓傳輸平臺等高動態(tài)設備， Titanium系列驅動器因采用了氮化鎵(GaN)與碳化硅(SiC)為代表的第三代半導體工藝，使得產品開關頻率與伺服電流環(huán)響應速度上取得突破性進展。更高的開關頻率帶來更平滑的轉矩輸出與更低的諧波損耗，而電流環(huán)響應能力的提升則直接增強了系統(tǒng)在高速高精場景下的動態(tài)性能。

　　3 定制服務：將算法寫進驅動器

　　面對愈加靈活、柔性的生產模式， Elmo支持深度定制化開發(fā)，例如根據(jù)韓國半導體客戶的需求推薦使用的四軸一體化驅動器Platinum Solo Quartet，該產品將控制功能完全集成于驅動器內，無需外置控制器即可實現(xiàn)復雜軌跡規(guī)劃。

　　更重要的是，Elmo提供了開放的軟件開發(fā)環(huán)境，支持客戶將專有算法，如固晶機中的“力位混合控制”直接寫入驅動器。這一功能使設備商能夠打造具備自主知識產權的控制系統(tǒng)，形成差異化競爭力。

　　4 精準控制：讓“視覺+運動”更簡單

　　在半導體前道檢測、晶圓對位等制造環(huán)節(jié)，精準定位始終是核心挑戰(zhàn)。 Elmo此次發(fā)布的運動控制器Titanium Maestro與上一代采用ARM平臺的產品不同，全面轉向x86架構，顯著提升CPU與GPU的綜合算力，并首次在控制器層級通過算法支持視覺處理，使得設備能夠在本地直接完成圖像識別、定位與軌跡規(guī)劃任務，無需依賴外接工控機。

　　從龍門同步到視覺控制，從系統(tǒng)整合到深度定制， Elmo構建了覆蓋半導體制造全流程的高性能控制單元體系，并持續(xù)助力客戶在轉型過程中穩(wěn)步提升設備性能與智能化水平。